國家科學及技術委員會時期處長
| 姓名 | 任職期間 | 任職年數 | 備註 | 
|---|---|---|---|
| 羅夢凡 | 2020.7.31-2024.7.31 | 4 | 國科會自然處處長 | 
科技部時期司長
| 姓名 | 任職期間 | 任職年數 | 備註 | 
|---|---|---|---|
| 陳于高 | 2014.3.3-2016.7.31 | 2.5 | 科技部自然司司長 | 
| 吳俊傑 | 2016.9.1-2018.8.31 | 2 | 科技部自然司司長 | 
| 林敏聰 | 2018.9.1-2020.5.31 | 1.9 | 科技部自然司司長 | 
國家科學委員會時期歷任處長
| 姓名 | 任職期間 | 任職年數 | 備註 | 
|---|---|---|---|
| 王唯農 | 1969-1972 | 4 | 國科會自然科學及數學組,第一任組長 | 
| 林爾康 | 1972-1981 | 9 | 第二任組長 | 
| 劉廣定 
 | 1981-1984 
 | 3 
 | 第三任組長,1982年改為行政院國科會自然科學發展第一任處長 
 | 
| 陳 通 
 | 1984-1986 
 | 2 
 | 第二任處長 
 | 
| 黃鎮台 
 | 1986-1989 
 | 3 
 | 第三任處長 
 | 
| 沙晉康 
 | 1989-1991 
 | 2 
 | 第四任處長 
 | 
| 楊末雄 
 | 1991-1993 
 | 2 
 | 第五任處長 
 | 
| 張石麟 
 | 1993-1995 
 | 2 
 | 第六任處長 
 | 
| 古煥球 
 | 1995-1998 
 | 3 
 | 第七任處長 
 | 
| 王瑜 
 | 1998-2001 
 | 3 
 | 第八任處長 
 | 
| 楊弘敦 
 | 2001-2004 
 | 3 
 | 第九任處長 
 | 
| 伊林 
 | 2004-2006 
 | 2 
 | 第十任處長 
 | 
| 鄭建鴻 
 | 2006-2009 
 | 3 
 | 第十一任處長 
 | 
| 廖文峰 
 | 2009-2012 
 | 3 
 | 第十二任處長 
 | 
| 陳于高 
 | 2012-2014.3.2 
 | 第十三任處長 | 
